ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇ ପ୍ୟୁରିଟି (UHP) ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇପ୍ସର୍ ଶିଳ୍ପର ଜୀବନରକ୍ତ। ବିଶ୍ୱ ଯୋଗାଣ ଶୃଙ୍ଖଳରେ ଅଭୂତପୂର୍ବ ଚାହିଦା ଏବଂ ବାଧା ଯୋଗୁଁ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇପ୍ସର୍ ଗ୍ୟାସର ମୂଲ୍ୟ ବୃଦ୍ଧି ପାଉଛି, ନୂତନ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇପ୍ସର୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଡିଜାଇନ୍ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ପଦ୍ଧତି ଆବଶ୍ୟକ ପ୍ରଦୂଷଣ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସ୍ତରକୁ ବୃଦ୍ଧି କରୁଛି। ଅଲ୍ଟ୍ରା-ହାଇପ୍ସର୍ ନିର୍ମାତାମାନଙ୍କ ପାଇଁ, UHP ଗ୍ୟାସ୍ ର ବିଶୁଦ୍ଧତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବାରେ ସକ୍ଷମ ହେବା ପୂର୍ବ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।

ଆଧୁନିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ଅଲ୍ଟ୍ରା ହାଇ ପ୍ୟୁରିଟି (UHP) ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ

UHP ଗ୍ୟାସର ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରୟୋଗ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ ହେଉଛି ନିଷ୍କ୍ରିୟତା: UHP ଗ୍ୟାସ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉପାଦାନଗୁଡିକ ଚାରିପାଖରେ ଏକ ସୁରକ୍ଷାାତ୍ମକ ବାତାବରଣ ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ସେମାନଙ୍କୁ ବାୟୁମଣ୍ଡଳରେ ଆର୍ଦ୍ରତା, ଅମ୍ଳଜାନ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପ୍ରଦୂଷକମାନଙ୍କର କ୍ଷତିକାରକ ପ୍ରଭାବରୁ ରକ୍ଷା କରିଥାଏ। ତଥାପି, ନିଷ୍କ୍ରିୟତା ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଶିଳ୍ପରେ ଗ୍ୟାସଗୁଡିକ କରୁଥିବା ଅନେକ ଭିନ୍ନ କାର୍ଯ୍ୟ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ। ପ୍ରାଥମିକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଗ୍ୟାସ ଠାରୁ ଆରମ୍ଭ କରି ଏଚିଂ ଏବଂ ଆନିଲିଂରେ ବ୍ୟବହୃତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଅତ୍ୟଧିକ-ଉଚ୍ଚ ଚାପ ଗ୍ୟାସଗୁଡିକ ଅନେକ ଭିନ୍ନ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଏବଂ ସମଗ୍ର ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଯୋଗାଣ ଶୃଙ୍ଖଳରେ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ।

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପରେ କିଛି "କୋର" ଗ୍ୟାସ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତଯବକ୍ଷାରଜାନ(ସାଧାରଣ ସଫା ଏବଂ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ),ଆର୍ଗନ(ଏଚିଂ ଏବଂ ଜମା ପ୍ରତିକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରାଥମିକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଗ୍ୟାସ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ),ହିଲିୟମ୍(ବିଶେଷ ତାପ-ସ୍ଥାନାନ୍ତର ଗୁଣ ସହିତ ଏକ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ) ଏବଂଉଦଜାନ(ଆନିଲିଂ, ଡିପୋଜିସନ, ଏପିଟାକ୍ସି ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ସଫା କରିବାରେ ବହୁବିଧ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ)।

ଯେପରି ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବିକଶିତ ଏବଂ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୋଇଛି, ସେହିପରି ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାସଗୁଡିକ ମଧ୍ୟ ହୋଇଛି। ଆଜି, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ କାରଖାନାଗୁଡ଼ିକ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ଗ୍ୟାସ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଯେପରିକି ନୋବଲ ଗ୍ୟାସ୍ ଯେପରିକିକ୍ରିପ୍ଟନ୍ଏବଂନିଅନ୍ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF 3) ଏବଂ ଟଙ୍ଗଷ୍ଟନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (WF 6) ଭଳି ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ପ୍ରଜାତିକୁ।

ବିଶୁଦ୍ଧତା ପାଇଁ ବଢ଼ୁଥିବା ଚାହିଦା

ପ୍ରଥମ ବାଣିଜ୍ୟିକ ମାଇକ୍ରୋଚିପ୍ ଉଦ୍ଭାବନ ପରଠାରୁ, ବିଶ୍ୱ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାରେ ଏକ ଆଶ୍ଚର୍ଯ୍ୟଜନକ ପାଖାପାଖି ଘାତାଙ୍କ ବୃଦ୍ଧି ଦେଖିଛି। ଗତ ପାଞ୍ଚ ବର୍ଷ ମଧ୍ୟରେ, ଏହି ପ୍ରକାରର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉନ୍ନତି ହାସଲ କରିବାର ଏକ ନିଶ୍ଚିତ ଉପାୟ ହେଉଛି "ଆକାର ସ୍କେଲିଂ": ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସ୍ଥାନରେ ଅଧିକ ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟରକୁ ସଙ୍କୁଚିତ କରିବା ପାଇଁ ବିଦ୍ୟମାନ ଚିପ୍ ସ୍ଥାପତ୍ୟର ପ୍ରମୁଖ ପରିମାପକୁ ହ୍ରାସ କରିବା। ଏହା ସହିତ, ନୂତନ ଚିପ୍ ସ୍ଥାପତ୍ୟର ବିକାଶ ଏବଂ ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ସାମଗ୍ରୀର ବ୍ୟବହାର ଡିଭାଇସ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାରେ ଏକ ବଡ଼ ସଫଳତା ଆଣିଛି।

ଆଜି, ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀଗୁଡ଼ିକର ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପରିମାପ ଏତେ ଛୋଟ ଯେ ଆକାର ସ୍କେଲିଂ ଆଉ ଡିଭାଇସ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାର ଏକ କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ ଉପାୟ ନୁହେଁ। ଏହା ବଦଳରେ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଗବେଷକମାନେ ନୂତନ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ 3D ଚିପ୍ ସ୍ଥାପତ୍ୟ ଆକାରରେ ସମାଧାନ ଖୋଜୁଛନ୍ତି।

ଦଶନ୍ଧି ଧରି ଅକ୍ଳାନ୍ତ ପୁନଃନିର୍ମାଣର ଅର୍ଥ ହେଉଛି ଆଜିର ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ପୁରୁଣା ମାଇକ୍ରୋଚିପ୍ ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ ଅଧିକ ଶକ୍ତିଶାଳୀ - କିନ୍ତୁ ସେଗୁଡ଼ିକ ଅଧିକ ଭଙ୍ଗୁର ମଧ୍ୟ। 300mm ୱେଫର ଫାବ୍ରିକେସନ୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ଆଗମନ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଅପରିଷ୍କାରତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣର ସ୍ତରକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିଛି। ଏକ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସାମାନ୍ୟ ପ୍ରଦୂଷଣ (ବିଶେଷକରି ବିରଳ କିମ୍ବା ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ୍) ମଧ୍ୟ ବିପର୍ଯ୍ୟୟକାରୀ ଉପକରଣ ବିଫଳତା ଆଡ଼କୁ ନେଇପାରେ - ତେଣୁ ଗ୍ୟାସ୍ ଶୁଦ୍ଧତା ବର୍ତ୍ତମାନ ପୂର୍ବ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।

ଏକ ସାଧାରଣ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ନିର୍ମାଣ କାରଖାନା ପାଇଁ, ସିଲିକନ୍ ପରେ ଅତ୍ୟଧିକ-ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଗ୍ୟାସ୍ ହେଉଛି ସବୁଠାରୁ ବଡ଼ ସାମଗ୍ରୀ ଖର୍ଚ୍ଚ। ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଯନ୍ତ୍ରର ଚାହିଦା ନୂତନ ଉଚ୍ଚତାକୁ ବୃଦ୍ଧି ପାଇବା ସହିତ ଏହି ଖର୍ଚ୍ଚଗୁଡ଼ିକ ବୃଦ୍ଧି ପାଇବାର ଆଶା କରାଯାଉଛି। ୟୁରୋପରେ ଘଟିଥିବା ଘଟଣାଗୁଡ଼ିକ ଉତ୍ତେଜିତ ଅତ୍ୟଧିକ-ଉଚ୍ଚ ଚାପ ପ୍ରାକୃତିକ ଗ୍ୟାସ୍ ବଜାରରେ ଅତିରିକ୍ତ ବାଧା ସୃଷ୍ଟି କରିଛି। ୟୁକ୍ରେନ୍ ହେଉଛି ବିଶ୍ୱର ସର୍ବବୃହତ ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ରପ୍ତାନିକାରୀ ଦେଶମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ।ନିଅନ୍ସଙ୍କେତ; ରୁଷର ଆକ୍ରମଣର ଅର୍ଥ ହେଉଛି ବିରଳ ଗ୍ୟାସର ଯୋଗାଣକୁ ସୀମିତ କରାଯାଉଛି। ଏହା ଫଳରେ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ମହାନ ଗ୍ୟାସର ଅଭାବ ଏବଂ ମୂଲ୍ୟ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଲା ଯେପରିକିକ୍ରିପ୍ଟନ୍ଏବଂଜେନନ୍.