ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ (ବୃଦ୍ଧି)ମିଶ୍ରିତ ଗାs

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପରେ, ଏକ ସତର୍କତାର ସହ ଚୟନ କରାଯାଇଥିବା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​କରି ସାମଗ୍ରୀର ଗୋଟିଏ କିମ୍ବା ଅଧିକ ସ୍ତର ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାସକୁ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଗ୍ୟାସ କୁହାଯାଏ।

ସାଧାରଣତଃ ବ୍ୟବହୃତ ସିଲିକନ୍ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଡାଇକ୍ଲୋରୋସିଲେନ୍, ସିଲିକନ୍ ଟେଟ୍ରାକ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଏବଂସିଲେନ୍। ମୁଖ୍ୟତଃ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସିଲିକନ୍ ଜମା, ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଫିଲ୍ମ ଜମା, ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଫିଲ୍ମ ଜମା, ସୌର କୋଷ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଫଟୋରିସେପ୍ଟର ପାଇଁ ଆମୋରଫସ୍ ସିଲିକନ୍ ଫିଲ୍ମ ଜମା ଇତ୍ୟାଦି ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏପିଟାକ୍ସୀ ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଯେଉଁଥିରେ ଗୋଟିଏ ସ୍ଫଟିକ ସାମଗ୍ରୀ ଜମା ହୁଏ ଏବଂ ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ବଢ଼ିଯାଏ।

ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(CVD) ମିଶ୍ରିତ ଗ୍ୟାସ

CVD ହେଉଛି ଅସ୍ଥିର ଯୌଗିକ ବ୍ୟବହାର କରି ଗ୍ୟାସ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଦ୍ୱାରା କିଛି ଉପାଦାନ ଏବଂ ଯୌଗିକଗୁଡ଼ିକୁ ଜମା କରିବାର ଏକ ପଦ୍ଧତି, ଅର୍ଥାତ୍ ଗ୍ୟାସ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ବ୍ୟବହାର କରି ଏକ ଫିଲ୍ମ ଗଠନ ପଦ୍ଧତି। ଗଠିତ ଫିଲ୍ମର ପ୍ରକାର ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି, ବ୍ୟବହୃତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(CVD) ଗ୍ୟାସ ମଧ୍ୟ ଭିନ୍ନ ହୋଇଥାଏ।

ଡୋପିଂମିଶ୍ରିତ ଗ୍ୟାସ୍

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ ଏବଂ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ନିର୍ମାଣରେ, କିଛି ଅଶୁଦ୍ଧତାକୁ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସାମଗ୍ରୀରେ ଡୋପ୍ କରାଯାଏ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକୁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ବାହକତା ପ୍ରକାର ଏବଂ ପ୍ରତିରୋଧକ, PN ଜଙ୍କସନ୍, ପୋତାଯାଇଥିବା ସ୍ତର ଇତ୍ୟାଦି ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରତିରୋଧକତା ମିଳିଥାଏ। ଡୋପିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାସକୁ ଡୋପିଂ ଗ୍ୟାସ କୁହାଯାଏ।

ମୁଖ୍ୟତଃ ଆର୍ସାଇନ୍, ଫସଫାଇନ୍, ଫସଫରସ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍, ଫସଫରସ୍ ପେଣ୍ଟାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍, ଆର୍ସେନିକ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍, ଆର୍ସେନିକ୍ ପେଣ୍ଟାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍,ବୋରନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍, ଡାଇବୋରେନ୍, ଇତ୍ୟାଦି।

ସାଧାରଣତଃ, ଡୋପିଂ ଉତ୍ସକୁ ଏକ ଉତ୍ସ କ୍ୟାବିନେଟରେ ଏକ ବାହକ ଗ୍ୟାସ୍ (ଯେପରିକି ଆର୍ଗନ୍ ଏବଂ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍) ସହିତ ମିଶ୍ରିତ କରାଯାଏ। ମିଶ୍ରଣ ପରେ, ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରବାହ ନିରନ୍ତର ଭାବରେ ପ୍ରସାରଣ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍‌ରେ ପ୍ରବେଶ କରାଯାଏ ଏବଂ ୱାଫରକୁ ଘେରି ରଖାଯାଏ, ୱାଫରର ପୃଷ୍ଠରେ ଡୋପାଣ୍ଟ ଜମା କରେ, ଏବଂ ତା’ପରେ ସିଲିକନ୍ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ଡୋପିଂ ଧାତୁ ସୃଷ୍ଟି କରେ ଯାହା ସିଲିକନ୍‌କୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ ହୁଏ।

ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ଗ୍ୟାସ ମିଶ୍ରଣ

ଏଚିଂ ହେଉଛି ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ମାସ୍କିଂ ବିନା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପୃଷ୍ଠ (ଯେପରିକି ଧାତୁ ଫିଲ୍ମ, ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଫିଲ୍ମ, ଇତ୍ୟାଦି) କୁ ଖୋଳିବା, ଏବଂ ଫଟୋରେସିଷ୍ଟ ମାସ୍କିଂ ସହିତ କ୍ଷେତ୍ରକୁ ସଂରକ୍ଷଣ କରିବା, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଇମେଜିଂ ପ୍ୟାଟର୍ନ ମିଳିପାରିବ।

ଏଚିଂ ପଦ୍ଧତିରେ ଓଦା ରାସାୟନିକ ଏଚିଂ ଏବଂ ଶୁଷ୍କ ରାସାୟନିକ ଏଚିଂ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଶୁଷ୍କ ରାସାୟନିକ ଏଚିଂରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାସକୁ ଏଚିଂ ଗ୍ୟାସ କୁହାଯାଏ।

ଏଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ସାଧାରଣତଃ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ (ହାଲାଇଡ୍) ହୋଇଥାଏ, ଯେପରିକିକାର୍ବନ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍, ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରୋମିଥେନ୍, ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରୋଇଥେନ୍, ପର୍ଫ୍ଲୋରୋପ୍ରୋପେନ୍, ଇତ୍ୟାଦି।