ଏପିଟାସିଆଲ୍ (ଅଭିବୃଦ୍ଧି)ମିଶ୍ରିତ ଗାs

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପରେ, ଏକ ଯତ୍ନର ସହିତ ମନୋନୀତ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ପ୍ରଜାତିର ଏକ କିମ୍ବା ଅଧିକ ସ୍ତର ବ growing ାଇବା ପାଇଁ ଗ୍ୟାସ୍ ଏକ କିମ୍ବା ଅଧିକ ସ୍ତର ବ grown ାଇଲା |

ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ସିଲିକନ୍ ଏଭୁଆକ୍ୟାକ୍ସିଆଲ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଡିଚ୍ଲୋରୋରୋରସିଲେ, ସିଲିକନ୍ ଟେଟ୍ରାଚର୍ାଇଡ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ ଏବଂ |ସିଲାନ୍ |। ମୁଖ୍ୟତ ep ସି it ିଟିପିଟି ରାଷ୍ଟ୍ରନ୍ ଜମା ପାଇଁ, ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମାସନ୍, ଇତ୍ୟାଦି ଏସୋରସ ସିଲେକ୍ଟେକ୍ସକ୍ ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଯେଉଁଥିରେ ଜଣେ ସ୍ଫଟିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଭୂପୃଷ୍ଠରେ ଜମା ଏବଂ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଲା |

ରସାୟନିକ ବାପର୍ ଜମା (CVD) ମିଶ୍ରିତ ଗ୍ୟାସ୍ |

ଭୂତଳ ଯାଦୁଣ୍ଡ୍ସକୁ ବ୍ୟବହାର କରି ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଉପାଦାନ ଏବଂ ଯ ous ରବ ପ୍ରଦାନ କରୁଥିବା ଏକ ପଦ୍ଧତି ହେଉଛି ଏକ ପଦ୍ଧତି, ଅର୍ଥାତ୍ ଗ୍ୟାସ ମ୍ୟାଜିକାଲ୍ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ବ୍ୟବହାର କରି ଏକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ ପଦ୍ଧତି | ଗଠିତ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ପ୍ରକାର ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି ରୋକାସିଆନୀୟ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(CVD) ଗ୍ୟାସ୍ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

ଡିପିଂମିଶ୍ରିତ ଗ୍ୟାସ୍ |

ସେମିଚାର୍କ୍ଟୁକ୍ଟର ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଏବଂ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସାଇଜ୍ ର ଉତ୍ପାଦନରେ, ଆବଶ୍ୟକ ଅଶୁଭତା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସାମଗ୍ରୀର ସ୍ଥାନଗୁଡିକରେ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଗ୍ରହଣ କରିଥିଲା, ଦି ଡୋପିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାପିଂ ଗ୍ୟାସ୍ କୁହାଯାଏ |

ମୁଖ୍ୟତ areryaler ଆର୍ସେନ୍, ଫସଫରସ୍ ଫାଇଫଲୁରେଡ୍, ଆର୍ସସିକ୍ ଡିଫୁଏରାଇଡ୍, ଆର୍ସେନ୍ିକ୍ ପେଣ୍ଟୁଲଫ୍ଲୁଏରାଇଡ୍,ବୋରନ୍ ଡିଫ୍ଲୁର୍ାଇଡ୍ |, ଡିବୋରୋନ୍, ଇତ୍ୟାଦି |

ସାଧାରଣତ ,, ଓପୋପିଂ ଉତ୍ସ ଏକ ଉତ୍ସ କ୍ୟାବିନେଟରେ ଏକ ବାହକ ଗ୍ୟାସ୍ (ଯେପରିକି ଆର୍ଗନ୍ ଏବଂ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ) ସହିତ ମିଶ୍ରିତ | ମିଶ୍ରଣ ପରେ, ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରବାହ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ ବିସ୍ତାରିତ ଚୁଲିରେ ଏବଂ ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଡିପୋଣ୍ଟଗୁଡିକୁ ଘେରି ରହିଛି, ଏବଂ ଡପ୍ ହୋଇଥିବା ମେଟାଲ୍ ସୃଷ୍ଟି କରିବାକୁ ସିଲିକନ୍ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ସିଲ୍କନନ୍ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା |

ଇଞ୍ଚିଂଗ୍ୟାସ୍ ମିଶ୍ରଣ |

ଫୋଟୋରସିଷ୍ଟ ମାସ୍କରେ ଥିବା କ୍ଷେତ୍ରକୁ ସଂରକ୍ଷଣ କରୁଥିବାବେଳେ ଫୋଟୋରିସ୍ ଭର୍ତ୍ତି, ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଫିଲ୍ମ, ଇତ୍ୟାଦି ଫଟୋଗ୍ରାଫେଙ୍କ ମାସ୍କିଂରେ ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସିଂ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର, ଇତ୍ୟାଦି |

ଇଞ୍ଚିଂ ପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ଓଦା ରାସାୟନିକ ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ ଏବଂ ଶୁଖିଲା ରାସାୟନିକ ଇଚ୍ | ଶୁଖିଲା ରାସାୟନିକ ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାସ୍ ଇଞ୍ଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍ କୁହାଯାଏ |

ଇଞ୍ଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ସାଧାରଣତ fl ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ (ଅଧା) ଅଟେ |କାର୍ବନ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୁଲୁର୍ାଇଡ୍ |, ନାଇଟ୍ରୋଜନ୍ ପ୍ରିଫଲୁର୍ାଇଡ୍, ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରୋରିଥେନ, ହେକ୍ସ୍ଲୁରୋୋମାଥାନ, ପେରେଫ୍ଲୋରୋଭରୋପାନ, ପରଫ୍ଲୋରୋ ପ୍ରୋଟାନ୍,