ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ଏହା ଏକ ରଙ୍ଗହୀନ ଗ୍ୟାସ ଯାହାର ଏକ ତୀବ୍ର ଗନ୍ଧ ଅଛି। ଏହାର ଜଳୀୟ ଦ୍ରବଣକୁ ହାଇଡ୍ରୋକ୍ଲୋରିକ୍ ​​ଏସିଡ୍ କୁହାଯାଏ, ଯାହାକୁ ହାଇଡ୍ରୋକ୍ଲୋରିକ୍ ​​ଏସିଡ୍ ମଧ୍ୟ କୁହାଯାଏ। ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ ପାଣିରେ ବହୁତ ଦ୍ରବଣୀୟ। 0°C ରେ, 1 ପରିମାଣ ପାଣି ପ୍ରାୟ 500 ପରିମାଣ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଦ୍ରବୀଭୂତ କରିପାରେ।

ଏହାର ନିମ୍ନଲିଖିତ ଗୁଣ ଏବଂ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ରହିଛି:

1. ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା

ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ରେଡର ବିଶୁଦ୍ଧତାହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ କୌଣସି ଅଶୁଦ୍ଧତା ପ୍ରବେଶ ନ କରିବା ପାଇଁ ଏହା ବହୁତ ଅଧିକ, ସାଧାରଣତଃ ppm କିମ୍ବା ନିମ୍ନ ସ୍ତରରେ।

୨. ଜଡ଼ତା

ଏହା ଏକ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ ଯାହା ଅନେକ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପଦାର୍ଥ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରେ ନାହିଁ, ଯାହା ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଉପକରଣର ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।

3. ଉଚ୍ଚ ସ୍ଥିରତା

ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ରେଡ୍ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ସାଧାରଣତଃ ସ୍ଥିର ରସାୟନ ବିଜ୍ଞାନ ଥାଏ।

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ରେଡ୍ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡର ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:

1. ପୃଷ୍ଠ ସଫା ଏବଂ ପ୍ରସ୍ତୁତି

ଏକ ଦକ୍ଷ ପୃଷ୍ଠ ସଫାକାରୀ ଭାବରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ରେଡ୍ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତର କିମ୍ବା ଫିଲ୍ମର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ବିଶୁଦ୍ଧତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରୁ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଏବଂ ଅଶୁଦ୍ଧତା ଅପସାରଣ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।

୨. ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ବୃଦ୍ଧି ସହାୟକ

ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଏକ ପୃଷ୍ଠ ଚିକିତ୍ସା ଏଜେଣ୍ଟ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ, ଏହା ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତରର ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରିବାରେ, ଜାଲି ମେଳକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାରେ ଏବଂ ଜାଲି ତ୍ରୁଟି ଗଠନକୁ ହ୍ରାସ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।

3. ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପ୍ରିଟ୍ରିଟମେଣ୍ଟ

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପୂର୍ବରୁ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ରେଡ୍ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତର ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଆପୋଷକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ଆଧାର ଗଠନ କରିବା ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ଚିକିତ୍ସା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ।

୪. ସହାୟକ ଏଜେଣ୍ଟ ଜମା କରିବା

ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(CVD) କିମ୍ବା ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(PVD) ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସାମଗ୍ରୀର ଜମା ପ୍ରତିକ୍ରିୟାରେ ଅଂଶଗ୍ରହଣ କରିବା ପାଇଁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ରେଡ୍ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ କୁ ଗ୍ୟାସ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ମାଧ୍ୟମ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ।

୫. ଗ୍ୟାସ-ଫେଜ୍ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ଏଜେଣ୍ଟ

ଗ୍ୟାସ-ଫେଜ୍ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ଏଜେଣ୍ଟ ଭାବରେ, ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗ୍ୟାସୀୟ ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରରେ ପ୍ରବେଶ କରାଯାଏ ଯାହା ଦ୍ଵାରା ସାମଗ୍ରୀର ଜମା ହାର ଏବଂ ସମାନତାକୁ ସଜାଡିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ ମିଳିଥାଏ।

ଏହି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ରେଡ୍ ତିଆରି କରେହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଏଜେଣ୍ଟ, ଯାହା ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ଉପକରଣର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ଉପରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ।

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ ଏହାର ବ୍ୟବହାର ବ୍ୟତୀତ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ରେଡ୍ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବିବିଧ ବ୍ୟବହାର ପାଇପାରିବ, ଯଥା: ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରସ୍ତୁତି, ଇନ୍ଧନ କୋଷ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସାମଗ୍ରୀ ବୃଦ୍ଧି, ବାଷ୍ପ ପର୍ଯ୍ୟାୟ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି, ସାମଗ୍ରୀ ବିଶ୍ଳେଷଣ, ରାସାୟନିକ ଗବେଷଣା।

ସାଧାରଣତଃ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ରେଡ୍ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ଏହା ଏକ ବହୁମୁଖୀ, ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ୟାସ୍ ଯାହାର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ବାହାରେ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ପ୍ରୟୋଗ ଅଛି।