ଅପେକ୍ଷାକୃତ ଉନ୍ନତ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସହିତ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ୱେଫର୍ ଫାଉଣ୍ଡ୍ରିଗୁଡିକର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରାୟ 50 ଟି ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ଗ୍ୟାସ୍ ଆବଶ୍ୟକ | ଗ୍ୟାସ୍ ସାଧାରଣତ bul ବଲ୍କ ଗ୍ୟାସରେ ବିଭକ୍ତ ଏବଂ |ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ |.

ମାଇକ୍ରୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପରେ ଗ୍ୟାସର ପ୍ରୟୋଗ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଗ୍ୟାସର ବ୍ୟବହାର ସର୍ବଦା ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ, ବିଶେଷକରି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ବିଭିନ୍ନ ଶିଳ୍ପରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ULSI, TFT-LCD ଠାରୁ ବର୍ତ୍ତମାନର ମାଇକ୍ରୋ-ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋମେକାନିକାଲ୍ (MEMS) ଶିଳ୍ପ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଶୁଖିଲା ଇଞ୍ଚିଙ୍ଗ୍, ଅକ୍ସିଡେସନ୍, ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ, ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା ଇତ୍ୟାଦି |

ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଅନେକ ଲୋକ ଜାଣନ୍ତି ଯେ ଚିପ୍ସ ବାଲିରେ ନିର୍ମିତ, କିନ୍ତୁ ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ଦେଖିଲେ ଅଧିକ ସାମଗ୍ରୀ ଆବଶ୍ୟକ, ଯେପରିକି ଫଟୋଗ୍ରାଫିଷ୍ଟ, ପଲିସିଂ ଲିକ୍ୱିଡ୍, ଟାର୍ଗେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ, ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ଇତ୍ୟାଦି ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ | ବ୍ୟାକ୍-ଏଣ୍ଡ୍ ପ୍ୟାକେଜିଂରେ ବିଭିନ୍ନ ସାମଗ୍ରୀର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍, ଇଣ୍ଟରପୋଜର୍, ଲିଡ୍ ଫ୍ରେମ୍, ବଣ୍ଡିଂ ସାମଗ୍ରୀ ଇତ୍ୟାଦି ଆବଶ୍ୟକ | ସିଲିକନ୍ ୱାଫର୍ ପରେ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ହେଉଛି ଦ୍ୱିତୀୟ ବୃହତ୍ତମ ସାମଗ୍ରୀ, ପରେ ମାସ୍କ ଏବଂ ଫଟୋଗ୍ରାଫିଷ୍ଟ |

ଗ୍ୟାସର ଶୁଦ୍ଧତା ଉପାଦାନ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ ଅମଳ ଉପରେ ଏକ ନିର୍ଣ୍ଣାୟକ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ ଯୋଗାଣର ସୁରକ୍ଷା କର୍ମଚାରୀଙ୍କ ସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟ ଏବଂ କାରଖାନା କାର୍ଯ୍ୟର ନିରାପତ୍ତା ସହିତ ଜଡିତ | ଗ୍ୟାସର ଶୁଦ୍ଧତା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଲାଇନ ଏବଂ କର୍ମଚାରୀଙ୍କ ଉପରେ କାହିଁକି ଏତେ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ? ଏହା ଅତିରିକ୍ତ ନୁହେଁ, କିନ୍ତୁ ଗ୍ୟାସର ବିପଜ୍ଜନକ ଗୁଣ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ |

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପରେ ସାଧାରଣ ଗ୍ୟାସର ଶ୍ରେଣୀକରଣ |

ସାଧାରଣ ଗ୍ୟାସ୍ |

ସାଧାରଣ ଗ୍ୟାସକୁ ବଲ୍କ ଗ୍ୟାସ୍ ମଧ୍ୟ କୁହାଯାଏ: ଏହା 5N ରୁ କମ୍ ଶୁଦ୍ଧତା ଆବଶ୍ୟକତା ଏବଂ ଏକ ବୃହତ ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ବିକ୍ରୟ ପରିମାଣ ସହିତ ଶିଳ୍ପ ଗ୍ୟାସ୍ କୁ ସୂଚିତ କରେ | ଏହାକୁ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପ୍ରଣାଳୀ ଅନୁଯାୟୀ ବାୟୁ ପୃଥକ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ସିନ୍ଥେଟିକ୍ ଗ୍ୟାସରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ | ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ (H2), ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ (N2), ଅମ୍ଳଜାନ (O2), ଆର୍ଗନ୍ (A2) ଇତ୍ୟାଦି;

ବିଶେଷତା ଗ୍ୟାସ୍ |

ସ୍ପେସିଆଲିଟି ଗ୍ୟାସ୍ ଶିଳ୍ପ ଗ୍ୟାସ୍ କୁ ବୁ refers ାଏ ଯାହା ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଏବଂ ଶୁଦ୍ଧତା, ବିବିଧତା ଏବଂ ଗୁଣ ପାଇଁ ବିଶେଷ ଆବଶ୍ୟକତା ଥାଏ | ମୁଖ୍ୟତ। |SiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… ଏବଂ ସେହିପରି |

ସ୍ପେସିଆଲ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ର ପ୍ରକାର |

ସ୍ gas ତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସର ପ୍ରକାର: କ୍ଷତିକାରକ, ବିଷାକ୍ତ, ଜାଳେଣୀ, ଜାଳେଣୀ-ସହାୟକ, ନିଷ୍କ୍ରିୟତା ଇତ୍ୟାଦି |
ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଗ୍ୟାସଗୁଡିକ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ଶ୍ରେଣୀଭୁକ୍ତ କରାଯାଇଛି:
(i) କ୍ଷତିକାରକ / ବିଷାକ୍ତ:HCl、 BF3 、 WF6 、 HBr 、 SiH2Cl2 、 NH3 、 PH3 、 Cl2 、BCl3…
(ii) ଜ୍ୱଳନ୍ତ: H2 、CH4、SiH4、 PH3 、 AsH3 、 SiH2Cl2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) ଜାଳେଣୀ: O2 、 Cl2 、 N2O 、 NF3…
(iv) ନିଷ୍କ୍ରିୟ: N2 、CF4、 C2F6 、C4F8、SF6、 CO2 、Ne、Kr、 ସେ…

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ପ୍ରାୟ 50 ଟି ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ (ସ୍ special ତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ଭାବରେ କୁହାଯାଏ) ଅକ୍ସିଡେସନ୍, ବିସ୍ତାର, ଜମା, ଇଚିଂ, ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ୍, ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଏବଂ ସମୁଦାୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପ ଶହ ଶହରୁ ଅଧିକ | ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ PH3 ଏବଂ AsH3 ଫସଫରସ୍ ଏବଂ ଆର୍ସେନିକ୍ ଉତ୍ସ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, F- ଆଧାରିତ ଗ୍ୟାସ୍ CF4, CHF3, SF6 ଏବଂ ହାଲୋଜେନ ଗ୍ୟାସ୍ CI2, BCI3, HBr ସାଧାରଣତ the ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, SiH4, NH3, N2O | ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଡିପୋଜିଟ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରକ୍ରିୟା, F2 / Kr / Ne, Kr / Ne |

ଉପରୋକ୍ତ ଦିଗରୁ, ଆମେ ବୁ that ିପାରିବା ଯେ ଅନେକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଗ୍ୟାସ୍ ମାନବ ଶରୀର ପାଇଁ କ୍ଷତିକାରକ | ବିଶେଷ ଭାବରେ, SiH4 ପରି କେତେକ ଗ୍ୟାସ୍ ଆତ୍ମନିର୍ଭରଶୀଳ | ଯେପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସେମାନେ ଲିକ୍ ହୁଅନ୍ତି, ସେମାନେ ବାୟୁରେ ଅମ୍ଳଜାନ ସହିତ ହିଂସାତ୍ମକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିବେ ଏବଂ ଜଳିବା ଆରମ୍ଭ କରିବେ; ଏବଂ AsH3 ଅତ୍ୟଧିକ ବିଷାକ୍ତ ଅଟେ | ଯେକ Any ଣସି ସାମାନ୍ୟ ଲିକେଜ୍ ଲୋକଙ୍କ ଜୀବନରେ କ୍ଷତି ଘଟାଇପାରେ, ତେଣୁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ବ୍ୟବହାର ପାଇଁ କଣ୍ଟ୍ରୋଲ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଡିଜାଇନ୍ ର ସୁରକ୍ଷା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା ଅଧିକ |

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟରଗୁଡ଼ିକ “ତିନି ଡିଗ୍ରୀ” ରହିବା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ୟାସ୍ ଆବଶ୍ୟକ କରନ୍ତି |

ଗ୍ୟାସ ଶୁଦ୍ଧତା |

ଗ୍ୟାସରେ ଅପରିଷ୍କାର ବାତାବରଣର ବିଷୟବସ୍ତୁ ସାଧାରଣତ gas ଗ୍ୟାସ ଶୁଦ୍ଧତାର ଶତକଡ଼ା ଭାବରେ ପ୍ରକାଶ କରାଯାଇଥାଏ, ଯେପରିକି 99.9999% | ସାଧାରଣତ speaking କହିବାକୁ ଗଲେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ପାଇଁ ଶୁଦ୍ଧତା ଆବଶ୍ୟକତା 5N-6N ରେ ପହଞ୍ଚେ, ଏବଂ ଅପରିଷ୍କାର ବାତାବରଣ ବିଷୟବସ୍ତୁ ppm (ଅଂଶ ପ୍ରତି ମିଲିୟନ୍), ppb (ପ୍ରତି ବିଲିୟନ ପ୍ରତି ଅଂଶ), ଏବଂ ppt (ଟ୍ରିଲିୟନ୍ ପ୍ରତି ଅଂଶ) ର ଭଲ୍ୟୁମ୍ ଅନୁପାତ ଦ୍ୱାରା ମଧ୍ୟ ପ୍ରକାଶ କରାଯାଇଥାଏ | ସ୍ gas ତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସର ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ଗୁଣାତ୍ମକ ସ୍ଥିରତା ପାଇଁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର କ୍ଷେତ୍ରର ସର୍ବାଧିକ ଆବଶ୍ୟକତା ରହିଛି ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସର ଶୁଦ୍ଧତା ସାଧାରଣତ 6 6N ରୁ ଅଧିକ ଅଟେ |

ଶୁଷ୍କତା |

ଗ୍ୟାସରେ ଥିବା ଟ୍ରେସ୍ ଜଳର ବିଷୟବସ୍ତୁ, କିମ୍ବା ଆର୍ଦ୍ରତା, ସାଧାରଣତ de କାକର ବିନ୍ଦୁରେ ପ୍ରକାଶ କରାଯାଇଥାଏ, ଯେପରିକି ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ କାକର ବିନ୍ଦୁ -70 ℃ |

ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା |

ଗ୍ୟାସରେ ପ୍ରଦୂଷକ କଣିକାର ସଂଖ୍ୟା, µm ର କଣିକା ଆକାର ବିଶିଷ୍ଟ କଣିକା, କେତେ କଣିକା / M3 ରେ ପ୍ରକାଶିତ ହୁଏ | ସଙ୍କୋଚିତ ବାୟୁ ପାଇଁ, ଏହା ସାଧାରଣତ mg mg / m3 ରେ ଅନାବଶ୍ୟକ କଠିନ ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶରେ ପ୍ରକାଶ କରାଯାଇଥାଏ, ଯେଉଁଥିରେ ତେଲର ମାତ୍ରା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ |