ଆମ ଦେଶର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପ ଏବଂ ପ୍ୟାନେଲ ଇଣ୍ଡେସ୍ରି ଏକ ଉଚ୍ଚ ସ୍ତର ସ୍ତର ପରିଚାଳନା କରନ୍ତୁ | ପ୍ୟାନେଲ ଏବଂ ସେମିକୋଣ୍ଡରସ୍ୟୁଟର୍ଟ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ ଏକ ଅସ୍ୱୀକାର ଯୋଗ୍ୟ ଏବଂ ସର୍ବଭ୍ୟୁବା ବ୍ୟାଟେନୋନିକ ଗ୍ୟାସ, ଏକ ବିସ୍ତୃତ ବଜାର ମହତ୍ତ୍ୱ ସ୍ଥାନ ଥାଏ, ଏକ ବିସ୍ତୃତ ବଜାର ସ୍ଥାନ ଅଛି |
ସାଧାରଣତ uplicked ଫ୍ଲୋରାଇନ୍-ଧାରଣ କରିଥିବା ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଧାରଣ କରିଥିବା ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |ସଲଫର ଷୋଡିଆର୍ଜ୍ଫଲ୍ (SF6), ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୁଲିଉଡ (WF6),କାର୍ବନ ଟେଟିଫ୍ଲୁବଲ (CF4), ଟ୍ରିଫ୍ଲୁରୋମୋମେଥାନେ (chf3), ନିତ୍ରୋଗେନ୍ ଡିଫେର୍ାଇଡ୍ (NF3), ହେକ୍ସୁଲୁଏରୋୱେ (C2F6) ଏବଂ ଓକ୍ଟର ଉଲାଅର୍ ପ୍ରୋପାନ (C3F8) ଏବଂ ଅକ୍ଟାଫ୍ଲୋରୋ ପ୍ରୋପୋନ (C3F8) ଏବଂ ଅକ୍ଟୋଲା) | ନିତୋଜେନ୍ ଡିଫେଗୁଲୁର୍ାଇଡ୍ (NF3) ମୁଖ୍ୟତ hi ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଫ୍ଲୁରିଡ୍ ଗ୍ୟାସର ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ରାସାୟନିକ ଲେଜର ପାଇଁ ଏକ ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଉତ୍ସ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | H2-o2 ଏବଂ F2 ମଧ୍ୟରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଶକ୍ତିର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଅଂଶ (ପ୍ରାୟ 25%) ର ଲକ୍ଷଣ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶ କରାଯାଇପାରିବ, ତେଣୁ hf-reserS ରସାୟନାଲ୍ ଲେଜରମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ ସବୁଠାରୁ ପ୍ରତିଷ୍ଠା ଦିଆଯାଇଥିବା ପ୍ରମୁଖ ଲାଭକାରୀ |
ନାଇଟ୍ରୋଜନ୍ ଡିଫେଞ୍ଜର ଏକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଶିଳ୍ପ ଶିଳ୍ପରେ ଏକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଗ୍ୟାସର | ଇଚିବାଙ୍ଗ ସିଲିକନ୍ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ନଇଟ୍ରାଇଡ୍ ପାଇଁ ନାଟୋରୋଜନ୍ ନଇଫଲୁର୍ାଇଡ୍ କାରରଫଲୁର୍ାଇଡ୍ ଠାରୁ ଏକ ଉଚ୍ଚ ଇଞ୍ଚିଂ ରେଟ୍ ଏବଂ ସିଲେକ୍ଟର ଏକ ଉଚ୍ଚ ଇଞ୍ଚିଂ ରେଟ୍ ଏବଂ ସିଲେକ୍ଟର ଏବଂ ଅଙ୍ଗନୋ ଟେଟରଫୁଲୁରାଇଡ୍ ଏବଂ ଭୂପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ରଦୂଷଣ ନାହିଁ | ବିଶେଷ କରି ନାଇଟ୍ରୋଜନୋଜନ୍ଙ୍କ ଘନତା ସହିତ ଏକ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କୁଲ୍ସର ଇଞ୍ଚରେ, ନାଇଟ୍ରୋଜନେଜ୍ ପ୍ରିଫଲୁର୍ ଏକ ଉତ୍ତମ ଇଚ୍ing ହାର ଏବଂ ଚୟନପାଳ ଅଛି, ଏବଂ ଏହା ମଧ୍ୟ ବହୁତ ଭଲ ସଫା କରିବା ଏଜେଣ୍ଟ | ନାନୋଟେକ୍ନୋଲୋଜିଙ୍କ ବିକାଶ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଶିଦ୍ଧୁର ବଡ଼ ଆକାରର ବିକାଶ, ଏହାର ଚାହିଦା ଦିନକୁ ଦିନ ବୃଦ୍ଧି ପାଇବ |
ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଚେଷ୍ଟା କରୁଥିବା ସ୍ୱାଧୀନତା - ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଚେଷ୍ଟା କରୁଥିବା ଏକ ପ୍ରକାର (NF3) ବଜାରରେ ସବୁଠାରୁ ବଡ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ବିଶେଷ ଗ୍ୟାସ ଉତ୍ପାଦ | କୋଠରୀରେ ଏହା ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ନିଷ୍କ୍ରିୟ, ଅମ୍ଳଜାନ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସକ୍ରିୟ, ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସ୍ଥିର, ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ପରିଚାଳନା କରିବା ସହଜ |
ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଡିଫେଞ୍ଜର ମୁଖ୍ୟତ the ପ୍ଲାସମା ଇଞ୍ଚ ଚନ୍ଦ୍ର ସଫେଇପଥ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଚିଲିଟ୍, ଫ୍ୟାମିକ୍ଟିକ୍ ପ୍ରଦର୍ଶନ, ଫଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ କକ୍ଷ, ଇତ୍ୟାଦି
ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଧାରଣ କରିଥିବା ଅନ୍ୟ ଫ୍ଲୋରୋନା-ର ସିଲିକନ୍-ଭାଲ୍ୟୁ ବିପରୀତର ସୁବିଧା ନାହିଁ, ଯାହା ବିଶେଷ କରି ଚ Ele ୍ଚଳର ଇଚିବା ପାଇଁ ଏହାର ସୁବିଧା, ଏବଂ ଏହା ମଧ୍ୟ ଏକ ପୂର୍ଣ୍ଣ ସଫେଇ କାର୍ଯ୍ୟ ଅଛି, ଏବଂ ଏହା ଭୂପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ରଦୂଷଣକାରୀ ନୁହେଁ | ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଆବଶ୍ୟକତା |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସ -1 26-2024 |
