ଆମ ଦେଶର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଶିଳ୍ପ ଏବଂ ପ୍ୟାନେଲ ଶିଳ୍ପ ଉଚ୍ଚ ସ୍ତରର ସମୃଦ୍ଧି ବଜାୟ ରଖିଛି। ପ୍ୟାନେଲ ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ ଏକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ଏବଂ ସର୍ବାଧିକ ପରିମାଣର ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ ଭାବରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍, ଏକ ବ୍ୟାପକ ବଜାର ସ୍ଥାନ ରଖିଛି।
ସାଧାରଣତଃ ବ୍ୟବହୃତ ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ବିଶେଷ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତସଲଫର ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ (SF6), ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (WF6),କାର୍ବନ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (CF4), ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରୋମିଥେନ (CHF3), ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF3), ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରୋଇଥେନ (C2F6) ଏବଂ ଅକ୍ଟାଫ୍ଲୋରୋପ୍ରୋପେନ୍ (C3F8)। ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF3) ମୁଖ୍ୟତଃ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍-ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ରାସାୟନିକ ଲେଜର ପାଇଁ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଉତ୍ସ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। H2-O2 ଏବଂ F2 ମଧ୍ୟରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଶକ୍ତିର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଅଂଶ (ପ୍ରାୟ 25%) ଲେଜର ବିକିରଣ ଦ୍ୱାରା ମୁକ୍ତ ହୋଇପାରିବ, ତେଣୁ ରାସାୟନିକ ଲେଜର ମଧ୍ୟରେ HF-OF ଲେଜରଗୁଡ଼ିକ ସବୁଠାରୁ ପ୍ରତିଶ୍ରୁତିପୂର୍ଣ୍ଣ ଲେଜର।
ମାଇକ୍ରୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଶିଳ୍ପରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଏକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍। ସିଲିକନ୍ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏଚିଂ ପାଇଁ, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ କାର୍ବନ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଏବଂ କାର୍ବନ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଏବଂ ଅମ୍ଳଜାନର ମିଶ୍ରଣ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ଏଚିଂ ହାର ଏବଂ ଚୟନଶୀଳତା ରଖେ, ଏବଂ ପୃଷ୍ଠକୁ କୌଣସି ପ୍ରଦୂଷଣ କରେ ନାହିଁ। ବିଶେଷକରି 1.5um ରୁ କମ୍ ଘନତା ସହିତ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ସାମଗ୍ରୀର ଏଚିଂରେ, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଏକ ବହୁତ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଏଚିଂ ହାର ଏବଂ ଚୟନଶୀଳତା ରଖେ, ଯାହା ଖୋଦିତ ବସ୍ତୁର ପୃଷ୍ଠରେ କୌଣସି ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶ ଛାଡି ନଥାଏ, ଏବଂ ଏହା ଏକ ବହୁତ ଭଲ ସଫାକାରୀ ଏଜେଣ୍ଟ ମଧ୍ୟ। ନାନୋଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ବିକାଶ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଶିଳ୍ପର ବୃହତ ପରିମାଣର ବିକାଶ ସହିତ, ଏହାର ଚାହିଦା ଦିନକୁ ଦିନ ବୃଦ୍ଧି ପାଇବ।
ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଯୁକ୍ତ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସର ଏକ ପ୍ରକାର ଭାବରେ, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF3) ହେଉଛି ବଜାରରେ ଉପଲବ୍ଧ ସବୁଠାରୁ ବଡ଼ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ ଉତ୍ପାଦ। ଏହା କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ନିଷ୍କ୍ରିୟ, ଅମ୍ଳଜାନ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସକ୍ରିୟ, ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସ୍ଥିର ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ପରିଚାଳନା କରିବା ସହଜ।
ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ମୁଖ୍ୟତଃ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ସଫା କରିବା ଏଜେଣ୍ଟ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯାହା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଚିପ୍ସ, ଫ୍ଲାଟ୍ ପ୍ୟାନେଲ୍ ଡିସପ୍ଲେ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଫାଇବର୍, ଫଟୋଭୋଲ୍ଟାଇକ୍ କୋଷ ଇତ୍ୟାଦି ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ର ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
ଅନ୍ୟ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଯୁକ୍ତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ତୁଳନାରେ, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ର ଦ୍ରୁତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଦକ୍ଷତାର ସୁବିଧା ଅଛି, ବିଶେଷକରି ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଭଳି ସିଲିକନ୍ ଯୁକ୍ତ ସାମଗ୍ରୀର ଏଚିଂରେ, ଏହାର ଉଚ୍ଚ ଏଚିଂ ହାର ଏବଂ ଚୟନଶୀଳତା ଅଛି, ଏଚିଂ ବସ୍ତୁର ପୃଷ୍ଠରେ କୌଣସି ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶ ଛାଡି ନଥାଏ, ଏବଂ ଏହା ଏକ ବହୁତ ଭଲ ସଫାକାରୀ ମଧ୍ୟ, ଏବଂ ଏହା ପୃଷ୍ଠକୁ ପ୍ରଦୂଷଣ କରୁନାହିଁ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର-୨୬-୨୦୨୪
