ଅଧିକାଂଶ ବ୍ୟବହୃତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ - ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଡିଫ୍ଲୁଲିର୍ାଇଡ୍ |

ସାଧାରଣ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍-ଧାରଣ କରିଥିବା ବିଶେଷ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ |ସଲଫର ଷୋଡିଆର୍ଜ୍ଫଲ୍ (SF6), ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୁଲିଉଡ (WF6),କାର୍ବନ ଟେଟିଫ୍ଲୁବଲ (CF4), ଟ୍ରିଫ୍ଲୁରୋମୋମେଥାନେ (chf3), ନିତ୍ରୋଗେନ୍ ଡିଫେର୍ାଇଡ୍ (NF3), ହେକ୍ସୁଲୁଏରୋୱେ (C2F6) ଏବଂ ଓକ୍ଟର ଉଲାଅର୍ ପ୍ରୋପାନ (C3F8) ଏବଂ ଅକ୍ଟାଫ୍ଲୋରୋ ପ୍ରୋପୋନ (C3F8) ଏବଂ ଅକ୍ଟୋଲା) |

ନାନୋଟେକ୍ନୋଲୋଜିଙ୍କ ବିକାଶ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଶିଦ୍ଧୁର ବଡ଼ ଆକାରର ବିକାଶ, ଏହାର ଚାହିଦା ଦିନକୁ ଦିନ ବୃଦ୍ଧି ପାଇବ | ପ୍ୟାନେଲ ଏବଂ ସେମିକୋଣ୍ଡର ପରିସରରେ ଏବଂ ସର୍ବଭାରତୀୟ ବ୍ୟବହୃତ ଏବଂ ସର୍ବପ୍ରେମୀୟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଏବଂ ସବୁଜ ବ୍ୟବହୃତ ଏବଂ ବୃହତ ବ୍ୟବହୃତ ବିଶେଷ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ ଭାବରେ ଏକ ବ୍ୟାପକ ଏବଂ ବୃହତ ବ୍ୟବହୃତ ବିଶେଷ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଅଛି |

ଏକ ପ୍ରକାର ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ - ବିଶେଷ ଗ୍ୟାସ ଧାରଣ କରିଥିବା ଏକ ପ୍ରକାର |ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଡିଫ୍ଲୁର୍ାଇଡ୍ (NF3)ସବୁଠାରୁ ବଡ ବଜାର କ୍ଷମତା ସହିତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ପାଦ | ଏହା ମୂଳର ତାପମାତ୍ରାରେ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ନିଷ୍କ୍ରିୟ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଅମ୍ଳଜାନ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସକ୍ରିୟ, ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସ୍ଥିର, ଏବଂ ପରିଚାଳନା କରିବା ସହଜ | ନାଇଟ୍ରୋଜନ୍ ଡିଫେଞ୍ଜର ଏକ ପ୍ଲାସମା ଇଚ୍ିଂ ଗ୍ୟାସ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଚିପିଦାରୀ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡୁକେକ୍ଟର ଚାଇବ୍ରେସ୍ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟୁଟିକ୍ଟ ପ୍ରଦେଶର ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ର, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ cell ସାହସ, ଇତ୍ୟାଦି |

ଅନ୍ୟ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ - ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଧାରଣ କରିଥିବା ତୁଳନାରେ,ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଡିଫ୍ଲୁଲର୍ାଇଡ୍ |ଦ୍ରୁତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଦକ୍ଷତାର ସୁବିଧା ଅଛି | ବିଶେଷ ଭାବରେ ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ପରି, ଯେପରିକି ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, ଏହାର ଉଚ୍ଚ ଇଖଙ୍ଗ୍ ହାର ଏବଂ ଅଭିଜିତ, ଇଚ୍ ହୋଇଥିବା ବସ୍ତୁର ପୃଷ୍ଠରେ କ stud ଣସି ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶ ନାହିଁ | ଏହା ମଧ୍ୟ ବହୁତ ଭଲ ସିଲିଂ ଏଜେଣ୍ଟ ଏବଂ ଭର୍ତ୍ତି ପାଇଁ କ pollution ଣସି ପ୍ରଦୂନୁଞ୍ଚନ ନାହିଁ, ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ |