ସାଧାରଣ ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ବିଶେଷ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତସଲଫର ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ (SF6), ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (WF6),କାର୍ବନ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (CF4), ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରୋମିଥେନ (CHF3), ନାଇଟ୍ରୋଜେନ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ (NF3), ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରୋଇଥେନ (C2F6) ଏବଂ ଅକ୍ଟାଫ୍ଲୋରୋପ୍ରୋପେନ (C3F8)।
ନାନୋଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ବିକାଶ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଶିଳ୍ପର ବୃହତ୍ ବିକାଶ ସହିତ, ଏହାର ଚାହିଦା ଦିନକୁ ଦିନ ବୃଦ୍ଧି ପାଇବ। ପ୍ୟାନେଲ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ ଏକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ଏବଂ ସର୍ବାଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ ଭାବରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍, ଏହାର ଏକ ବ୍ୟାପକ ବଜାର ସ୍ଥାନ ଅଛି।
ଏକ ପ୍ରକାର ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ ଭାବରେ,ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF3)ଏହା ସର୍ବାଧିକ ବଜାର କ୍ଷମତା ସହିତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ପାଦ। ଏହା କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ନିଷ୍କ୍ରିୟ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଅମ୍ଳଜାନ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସକ୍ରିୟ, ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସ୍ଥିର ଏବଂ ପରିଚାଳନା କରିବାକୁ ସହଜ। ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ମୁଖ୍ୟତଃ ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଏକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ସଫା କରିବା ଏଜେଣ୍ଟ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ ଏହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଚିପ୍ସ, ଫ୍ଲାଟ୍ ପ୍ୟାନେଲ୍ ଡିସପ୍ଲେ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଫାଇବର୍, ଫଟୋଭୋଲ୍ଟାଇକ୍ କୋଷ ଇତ୍ୟାଦି ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ର ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଯୁକ୍ତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସହିତ ତୁଳନା କଲେ,ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ଏହାର ଦ୍ରୁତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଦକ୍ଷତାର ସୁବିଧା ଅଛି। ବିଶେଷକରି ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଭଳି ସିଲିକନ୍ ଯୁକ୍ତ ସାମଗ୍ରୀର ଏଚିଂରେ, ଏହାର ଉଚ୍ଚ ଏଚିଂ ହାର ଏବଂ ଚୟନଶୀଳତା ଅଛି, ଯାହା ଏଚିଂ ବସ୍ତୁର ପୃଷ୍ଠରେ କୌଣସି ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶ ଛାଡି ନଥାଏ। ଏହା ଏକ ବହୁତ ଭଲ ସଫାକାରୀ ଏଜେଣ୍ଟ ଏବଂ ପୃଷ୍ଠରେ କୌଣସି ପ୍ରଦୂଷଣ ନାହିଁ, ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ସେପ୍ଟେମ୍ବର-୧୪-୨୦୨୪
