ସର୍ବାଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ - ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ |

ସାଧାରଣ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଧାରଣ କରିଥିବା ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ |ସଲଫର୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (SF6), ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (WF6),କାର୍ବନ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (CF4), ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରୋମେଟେନ୍ (CHF3), ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF3), ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରୋଏଥେନ୍ (C2F6) ଏବଂ ଅଷ୍ଟାଫ୍ଲୋରୋପ୍ରୋପେନ (C3F8) |

ନାନୋଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ବିକାଶ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଶିଳ୍ପର ବୃହତ ବିକାଶ ସହିତ ଏହାର ଚାହିଦା ଦିନକୁ ଦିନ ବୃଦ୍ଧି ପାଇବ | ପ୍ୟାନେଲ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟରର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ ଏକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ତଥା ସର୍ବ ବୃହତ ବ୍ୟବହୃତ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଭାବରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ର ଏକ ବ୍ୟାପକ ବଜାର ସ୍ଥାନ ଅଛି |

ଏକ ପ୍ରକାର ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଧାରଣ କରିଥିବା ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ଭାବରେ,ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF3)ସର୍ବ ବୃହତ ବଜାର କ୍ଷମତା ସହିତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ପାଦ | ଏହା କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ନିଷ୍କ୍ରିୟ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଅମ୍ଳଜାନ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସକ୍ରିୟ, ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ସ୍ଥିର ଏବଂ ପରିଚାଳନା କରିବା ସହଜ | ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ମୁଖ୍ୟତ a ଏକ ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଏକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ସଫେଇ ଏଜେଣ୍ଟ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଚିପ୍ସ, ଫ୍ଲାଟ ପ୍ୟାନେଲ ପ୍ରଦର୍ଶନ, ଅପ୍ଟିକାଲ ଫାଇବର, ଫୋଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ କୋଷ ଇତ୍ୟାଦି ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷେତ୍ର ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ଅଟେ |

ଅନ୍ୟ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଧାରଣ କରିଥିବା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ତୁଳନାରେ,ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ |ଦ୍ରୁତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଦକ୍ଷତାର ସୁବିଧା ଅଛି | ବିଶେଷକରି ସିଲିକନ୍ ଧାରଣ କରିଥିବା ସାମଗ୍ରୀ ଯଥା ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ପରି ଏହାର ଇଚିଂ ହାର ଏବଂ ସିଲେକ୍ଟିଭିଟି ରହିଥାଏ, ଯାହାକି ବସ୍ତୁର ପୃଷ୍ଠରେ କ res ଣସି ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶ ଛାଡି ନଥାଏ | ଏହା ମଧ୍ୟ ବହୁତ ଭଲ ସଫେଇ ଏଜେଣ୍ଟ ଏବଂ ଭୂପୃଷ୍ଠରେ କ pollution ଣସି ପ୍ରଦୂଷଣ ନାହିଁ, ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ |