ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଇଚିଂରେ ସଲଫର୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ର ଭୂମିକା |

ସଲଫର୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଏକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଇନସୁଲେଟିଂ ଗୁଣ ସହିତ ଏକ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଏହା ପ୍ରାୟତ high ହାଇ-ଭୋଲଟେଜ୍ ଆର୍କ ଲିଭାଇବା ଏବଂ ଟ୍ରାନ୍ସଫର୍ମର, ହାଇ-ଭୋଲଟେଜ୍ ଟ୍ରାନ୍ସମିସନ୍ ଲାଇନ୍, ଟ୍ରାନ୍ସଫର୍ମର ଇତ୍ୟାଦିରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | । ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ରେଡ୍ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ସଲଫର୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ହେଉଛି ଏକ ଆଦର୍ଶ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଇଚାଣ୍ଟ, ଯାହା ମାଇକ୍ରୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି କ୍ଷେତ୍ରରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ଆଜି, ନିୟୁ ରୁଏଡ୍ ସ୍ gas ତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ ସଂପାଦକ ୟୁୟୁ ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଇଚିଂରେ ସଲଫର୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡର ପ୍ରୟୋଗ ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ପାରାମିଟରର ପ୍ରଭାବ ଉପସ୍ଥାପନ କରିବେ |

ଆମେ SF6 ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ SiNx ପ୍ରକ୍ରିୟା ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରୁ, ଏଥିରେ ପ୍ଲାଜମା ଶକ୍ତି ପରିବର୍ତ୍ତନ, SF6 / He ର ଗ୍ୟାସ୍ ଅନୁପାତ ଏବଂ କ୍ୟାଟେନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ O2 ଯୋଡିବା, TFT ର SiNx ଉପାଦାନ ସୁରକ୍ଷା ସ୍ତରର ପ୍ରଭାବ ଉପରେ ଏହାର ପ୍ରଭାବ ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରିବା ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ବିକିରଣ The ସ୍ପେକ୍ଟ୍ରୋମିଟର SF6 / He, SF6 / He / O2 ପ୍ଲାଜମା ଏବଂ SF6 ବିଚ୍ଛିନ୍ନତା ହାରରେ ପ୍ରତ୍ୟେକ ପ୍ରଜାତିର ଏକାଗ୍ରତା ପରିବର୍ତ୍ତନକୁ ବିଶ୍ଳେଷଣ କରେ ଏବଂ SiNx ଏଚିଂ ହାର ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ପ୍ରଜାତିର ଏକାଗ୍ରତା ମଧ୍ୟରେ ସମ୍ପର୍କ ଅନୁସନ୍ଧାନ କରେ |

ଅଧ୍ୟୟନରୁ ଜଣାପଡିଛି ଯେ ଯେତେବେଳେ ପ୍ଲାଜମା ଶକ୍ତି ବୃଦ୍ଧି ହୁଏ, ଇଚିଂ ହାର ବ increases େ; ଯଦି ପ୍ଲାଜାରେ SF6 ର ପ୍ରବାହ ହାର ବୃଦ୍ଧି ହୁଏ, F ପରମାଣୁର ଏକାଗ୍ରତା ବ increases େ ଏବଂ ଇଚିଂ ହାର ସହିତ ସକରାତ୍ମକ ଭାବରେ ସମ୍ପର୍କିତ | ଏହା ସହିତ, ସ୍ଥିର ସମୁଦାୟ ପ୍ରବାହ ହାରରେ କ୍ୟାଟେନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ O2 ଯୋଡିବା ପରେ, ଏହାର ଇଚିଂ ହାର ବୃଦ୍ଧି ହେବାର ପ୍ରଭାବ ରହିବ, କିନ୍ତୁ ବିଭିନ୍ନ O2 / SF6 ପ୍ରବାହ ଅନୁପାତରେ, ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରଣାଳୀ ରହିବ, ଯାହାକୁ ତିନୋଟି ଭାଗରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ | : (1) O2 / SF6 ପ୍ରବାହ ଅନୁପାତ ବହୁତ ଛୋଟ, O2 SF6 ର ବିଚ୍ଛେଦକୁ ସାହାଯ୍ୟ କରିପାରିବ, ଏବଂ O2 ଯୋଡାଯିବା ଅପେକ୍ଷା ଏହି ସମୟରେ ଇଚିଂ ହାର ଅଧିକ | (୨) ଯେତେବେଳେ O2 / SF6 ପ୍ରବାହ ଅନୁପାତ 1 ରୁ ନିକଟତର ବ୍ୟବଧାନରେ 0.2 ରୁ ଅଧିକ, ଏହି ସମୟରେ, F ପରମାଣୁ ଗଠନ ପାଇଁ SF6 ର ବହୁ ବିଚ୍ଛିନ୍ନତା ହେତୁ, ଏଚିଂ ହାର ସର୍ବାଧିକ; କିନ୍ତୁ ସେହି ସମୟରେ, ପ୍ଲାଜାରେ ଥିବା O ପରମାଣୁ ମଧ୍ୟ ବୃଦ୍ଧି ପାଉଛି ଏବଂ SiNx ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପୃଷ୍ଠ ସହିତ SiOx କିମ୍ବା SiNxO (yx) ଗଠନ କରିବା ସହଜ ଅଟେ, ଏବଂ O ପରମାଣୁ ଯେତେ ବ increase ିବ, F ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ସେତିକି କଷ୍ଟକର ହେବ | ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ତେଣୁ, O2 / SF6 ଅନୁପାତ 1 ପାଖାପାଖି ଥିବାବେଳେ ଇଚିଂ ହାର ମନ୍ଥର ହେବାକୁ ଲାଗେ | (3) ଯେତେବେଳେ O2 / SF6 ଅନୁପାତ 1 ରୁ ଅଧିକ ହୁଏ, ଇଚିଂ ହାର କମିଯାଏ | O2 ର ବୃହତ ବୃଦ୍ଧି ହେତୁ, ବିଚ୍ଛିନ୍ନ F ପରମାଣୁ O2 ଏବଂ ଫର୍ମ OF ସହିତ ମୁହାଁମୁହିଁ ହୁଏ, ଯାହା F ପରମାଣୁର ଏକାଗ୍ରତାକୁ ହ୍ରାସ କରେ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ହ୍ରାସ ହାର କମିଯାଏ | ଏଥିରୁ ଏହା ଦେଖାଯାଇପାରେ ଯେ ଯେତେବେଳେ O2 ଯୋଡାଯାଏ, O2 / SF6 ର ପ୍ରବାହ ଅନୁପାତ 0.2। And ରୁ .8। Between ମଧ୍ୟରେ ରହିଥାଏ, ଏବଂ ସର୍ବୋତ୍ତମ ଇଚିଂ ହାର ମିଳିପାରିବ |