ଟଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (WF6) ଏକ CVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା ହୁଏ, ଧାତୁ ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗ ଖାତଗୁଡ଼ିକୁ ପୂରଣ କରେ ଏବଂ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଧାତୁ ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗ ସୃଷ୍ଟି କରେ।
ପ୍ରଥମେ ପ୍ଲାଜ୍ମା ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରିବା। ପ୍ଲାଜ୍ମା ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରକାରର ପଦାର୍ଥ ଯାହା ମୁଖ୍ୟତଃ ମୁକ୍ତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଏବଂ ଚାର୍ଜ୍ ଆୟନ୍ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ। ଏହା ବ୍ରହ୍ମାଣ୍ଡରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବିଦ୍ୟମାନ ଏବଂ ପ୍ରାୟତଃ ପଦାର୍ଥର ଚତୁର୍ଥ ଅବସ୍ଥା ଭାବରେ ବିବେଚନା କରାଯାଏ। ଏହାକୁ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଅବସ୍ଥା କୁହାଯାଏ, ଯାହାକୁ "ପ୍ଲାଜ୍ମା" ମଧ୍ୟ କୁହାଯାଏ। ପ୍ଲାଜ୍ମାର ଉଚ୍ଚ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପରିବାହୀତା ଅଛି ଏବଂ ଏହା ବିଦ୍ୟୁତ୍-ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ସହିତ ଏକ ଦୃଢ଼ ସଂଯୋଗ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ। ଏହା ଏକ ଆଂଶିକ ଆୟନକୃତ ଗ୍ୟାସ, ଯାହା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍, ଆୟନ୍, ମୁକ୍ତ ରେଡିକାଲ୍ସ, ନିରପେକ୍ଷ କଣିକା ଏବଂ ଫୋଟନ୍ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ। ପ୍ଲାଜ୍ମା ନିଜେ ଏକ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଭାବରେ ନିରପେକ୍ଷ ମିଶ୍ରଣ ଯାହା ଭୌତିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ସକ୍ରିୟ କଣିକା ଧାରଣ କରିଥାଏ।
ଏହାର ସରଳ ବ୍ୟାଖ୍ୟା ହେଉଛି ଯେ ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତିର କ୍ରିୟା ଅଧୀନରେ, ଅଣୁ ଭାନ୍ ଡେର୍ ୱାଲ୍ସ ବଳ, ରାସାୟନିକ ବନ୍ଧନ ବଳ ଏବଂ କୁଲମ୍ବ ବଳକୁ ପରାସ୍ତ କରିବ ଏବଂ ସାମଗ୍ରିକ ଭାବରେ ନିରପେକ୍ଷ ବିଦ୍ୟୁତ୍ ରୂପ ଉପସ୍ଥାପନ କରିବ। ସେହି ସମୟରେ, ବାହ୍ୟ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଦତ୍ତ ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ଉପରୋକ୍ତ ତିନୋଟି ବଳକୁ ପରାସ୍ତ କରିବ। କାର୍ଯ୍ୟ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଏବଂ ଆୟନ୍ ଏକ ମୁକ୍ତ ଅବସ୍ଥା ଉପସ୍ଥାପନ କରନ୍ତି, ଯାହାକୁ ଏକ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ରର ମଡ୍ୟୁଲେସନ୍ ଅଧୀନରେ କୃତ୍ରିମ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, ଯେପରିକି ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା, CVD ପ୍ରକ୍ରିୟା, PVD ଏବଂ IMP ପ୍ରକ୍ରିୟା।
ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି କ’ଣ? ତତ୍ତ୍ୱଗତ ଭାବରେ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଆବୃତ୍ତି RF ଉଭୟ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ। ସାଧାରଣତଃ କହିବାକୁ ଗଲେ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ହାସଲ କରିବା ପ୍ରାୟ ଅସମ୍ଭବ। ଏହି ତାପମାତ୍ରା ଆବଶ୍ୟକତା ଅତ୍ୟଧିକ ଏବଂ ସୂର୍ଯ୍ୟର ତାପମାତ୍ରା ନିକଟରେ ହୋଇପାରେ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଏହା ହାସଲ କରିବା ମୂଳତଃ ଅସମ୍ଭବ। ତେଣୁ, ଶିଳ୍ପ ସାଧାରଣତଃ ଏହାକୁ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି RF ବ୍ୟବହାର କରେ। ପ୍ଲାଜ୍ମା RF 13MHz+ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଉଚ୍ଚରେ ପହଞ୍ଚିପାରେ।
ଟଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଏକ ବୈଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର କ୍ରିୟାରେ ପ୍ଲାଜମାଇଜ୍ ହୋଇଥାଏ, ଏବଂ ତା’ପରେ ଏକ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଦ୍ୱାରା ବାଷ୍ପ-ଜମା ହୋଇଥାଏ। W ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ ଶୀତକାଳୀନ ହଂସ ପର ସହିତ ସମାନ ଏବଂ ଗୁରୁତ୍ୱାକର୍ଷଣର କ୍ରିୟାରେ ଭୂମିରେ ପଡ଼ିଥାଏ। ଧୀରେ ଧୀରେ, W ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ ଥ୍ରୁ ଗାତରେ ଜମା ହୁଏ, ଏବଂ ଶେଷରେ ଧାତୁ ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗ ଗଠନ କରିବା ପାଇଁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଗାତ ମାଧ୍ୟମରେ ପୂରଣ ହୁଏ। ଥ୍ରୁ ଗାତରେ W ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ଜମା କରିବା ସହିତ, ସେଗୁଡ଼ିକ ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠରେ ମଧ୍ୟ ଜମା ହେବ କି? ହଁ, ନିଶ୍ଚିତ ଭାବରେ। ସାଧାରଣତଃ କହିବାକୁ ଗଲେ, ଆପଣ W-CMP ପ୍ରକ୍ରିୟା ବ୍ୟବହାର କରିପାରିବେ, ଯାହାକୁ ଆମେ ବାହାର କରିବା ପାଇଁ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବୋଲି କହିଥାଉ। ଏହା ପ୍ରବଳ ତୁଷାରପାତ ପରେ ଭୂଇଁ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ଝାଡୁ ବ୍ୟବହାର କରିବା ସହିତ ସମାନ। ଭୂମିରେ ଥିବା ତୁଷାରପାତ ସଫା ହୋଇଯାଏ, କିନ୍ତୁ ଭୂମିରେ ଥିବା ଗାତରେ ଥିବା ତୁଷାରପାତ ରହିବ। ତଳକୁ, ପ୍ରାୟ ସମାନ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର-୨୪-୨୦୨୧
