ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (WF6) ଏକ CVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା ହୋଇଥାଏ, ଧାତୁ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ଖାଲ ପୂରଣ କରେ ଏବଂ ସ୍ତର ମଧ୍ୟରେ ଧାତୁ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ସୃଷ୍ଟି କରେ |
ପ୍ରଥମେ ପ୍ଲାଜ୍ମା ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରିବା | ପ୍ଲାଜମା ହେଉଛି ପଦାର୍ଥର ଏକ ରୂପ ଯାହା ମୁଖ୍ୟତ free ମାଗଣା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଏବଂ ଚାର୍ଜ ଆୟନକୁ ନେଇ ଗଠିତ | ଏହା ବ୍ରହ୍ମାଣ୍ଡରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବିଦ୍ୟମାନ ଅଛି ଏବଂ ପ୍ରାୟତ matter ପଦାର୍ଥର ଚତୁର୍ଥ ଅବସ୍ଥା ଭାବରେ ପରିଗଣିତ ହୁଏ | ଏହାକୁ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଅବସ୍ଥା କୁହାଯାଏ, ଯାହାକୁ “ପ୍ଲାଜ୍ମା” ମଧ୍ୟ କୁହାଯାଏ | ପ୍ଲାଜାର ଉଚ୍ଚ ବ electrical ଦୁତିକ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି ଅଛି ଏବଂ ବ elect ଦ୍ୟୁତିକ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ସହିତ ଏକ ଦୃ strong ଯୋଡି ପ୍ରଭାବ ରହିଛି | ଏହା ଏକ ଆଂଶିକ ଆୟନାଇଜଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍, ଆୟନ, ଫ୍ରି ରେଡିକାଲ୍, ନିରପେକ୍ଷ କଣିକା ଏବଂ ଫୋଟନ୍ ଗଠିତ | ପ୍ଲାଜମା ନିଜେ ଏକ ବ r ଦୁତିକ ଭାବରେ ନିରପେକ୍ଷ ମିଶ୍ରଣ ଯାହା ଶାରୀରିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ସକ୍ରିୟ କଣିକା ଧାରଣ କରିଥାଏ |
ଏହାର ସିଧାସଳଖ ବ୍ୟାଖ୍ୟା ହେଉଛି ଯେ ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତିର କାର୍ଯ୍ୟ ଅଧୀନରେ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ଭ୍ୟାନ୍ ଡେର୍ ୱାଲ୍ସ ଫୋର୍ସ, ରାସାୟନିକ ବଣ୍ଡ ଫୋର୍ସ ଏବଂ କୁଲମ୍ବ ଫୋର୍ସକୁ ଅତିକ୍ରମ କରିବେ ଏବଂ ଏକ ନିରପେକ୍ଷ ବିଦ୍ୟୁତର ଏକ ରୂପ ଉପସ୍ଥାପନ କରିବେ | ଏକାସାଙ୍ଗରେ, ବାହ୍ୟ ଦ୍ୱାରା ଦିଆଯାଇଥିବା ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ଉପରୋକ୍ତ ତିନୋଟି ଶକ୍ତିକୁ ଅତିକ୍ରମ କରେ | କାର୍ଯ୍ୟ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଏବଂ ଆୟନ ଏକ ମୁକ୍ତ ଅବସ୍ଥା ଉପସ୍ଥାପନ କରେ, ଯାହା ଏକ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ରର ମୋଡ୍ୟୁଲେସନରେ କୃତ୍ରିମ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇପାରିବ, ଯେପରିକି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା, CVD ପ୍ରକ୍ରିୟା, PVD ଏବଂ IMP ପ୍ରକ୍ରିୟା |
ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି କ’ଣ? ସିଦ୍ଧାନ୍ତରେ, ଉଭୟ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଆରଏଫ୍ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ | ସାଧାରଣତ speaking କହିବାକୁ ଗଲେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ହାସଲ କରିବା ପ୍ରାୟ ଅସମ୍ଭବ ଅଟେ | ଏହି ତାପମାତ୍ରା ଆବଶ୍ୟକତା ବହୁତ ଅଧିକ ଏବଂ ସୂର୍ଯ୍ୟର ତାପମାତ୍ରା ପାଖାପାଖି ହୋଇପାରେ | ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ହାସଲ କରିବା ମୂଳତ impossible ଅସମ୍ଭବ ଅଟେ | ତେଣୁ, ଏହାକୁ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଶିଳ୍ପ ସାଧାରଣତ high ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଆରଏଫ୍ ବ୍ୟବହାର କରେ | ପ୍ଲାଜ୍ମା ଆରଏଫ୍ 13MHz + ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଉଚ୍ଚରେ ପହଞ୍ଚିପାରେ |
ଟୁଙ୍ଗଷ୍ଟେନ୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଏକ ବ electric ଦୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର କାର୍ଯ୍ୟରେ ପ୍ଲାଜାମାଇଜ୍ ହୋଇଛି, ଏବଂ ତାପରେ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଦ୍ୱାରା ବାଷ୍ପ-ଜମା | W ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ ଶୀତଦିନିଆ ଗୋଆ ପୋଷା ସହିତ ସମାନ ଏବଂ ମାଧ୍ୟାକର୍ଷଣ କାର୍ଯ୍ୟରେ ଭୂମିରେ ପଡ଼େ | ଧିରେ ଧିରେ, W ପରମାଣୁ ଗର୍ତ୍ତରେ ଜମା ହୋଇଯାଏ ଏବଂ ଶେଷରେ ଧାତୁ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ଗଠନ ପାଇଁ ଗର୍ତ୍ତ ମାଧ୍ୟମରେ ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭରିଗଲା | ଗର୍ତ୍ତରେ W ପରମାଣୁ ଜମା କରିବା ବ୍ୟତୀତ, ସେଗୁଡ଼ିକ ୱାଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ମଧ୍ୟ ଜମା ହେବ କି? ହଁ, ନିଶ୍ଚିତ ଭାବରେ | ସାଧାରଣତ speaking କହିବାକୁ ଗଲେ, ଆପଣ W-CMP ପ୍ରକ୍ରିୟା ବ୍ୟବହାର କରିପାରିବେ, ଯାହାକୁ ଆମେ ଅପସାରଣ କରିବାକୁ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବୋଲି କହିଥାଉ | ପ୍ରବଳ ତୁଷାରପାତ ପରେ ଚଟାଣକୁ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ଏହା ଏକ ବ୍ରୂମ୍ ବ୍ୟବହାର କରିବା ସହିତ ସମାନ | ଭୂମିରେ ଥିବା ବରଫ ପୋଡି ଯାଇଛି, କିନ୍ତୁ ଭୂମିରେ ଥିବା ଗର୍ତ୍ତରେ ଥିବା ବରଫ ରହିବ | ତଳକୁ, ପ୍ରାୟ ସମାନ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର -24-2021 |
