ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସ୍ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକର ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଶାଖା। ଏମାନେ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନର ପ୍ରାୟ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଲିଙ୍କକୁ ପ୍ରବେଶ କରନ୍ତି ଏବଂ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ଲାର୍ଜ-ସ୍କେଲ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍, ଫ୍ଲାଟ୍ ପ୍ୟାନେଲ୍ ପ୍ରଦର୍ଶନ ଡିଭାଇସ୍ ଏବଂ ସୌର କୋଷ ଭଳି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଶିଳ୍ପ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ କଞ୍ଚାମାଲ।

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ, ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ୍ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ବର୍ତ୍ତମାନ, ବିଶ୍ୱ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ବଜାରରେ, ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ମୋଟର ପ୍ରାୟ 30% ଅଟେ। ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ହେଉଛି ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ସୂଚନା ସାମଗ୍ରୀ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବିଶେଷ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ର ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପାଦାନ। ଏଗୁଡ଼ିକ ମୁଖ୍ୟତଃ ସଫା କରିବା ଏଜେଣ୍ଟ ଏବଂ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ଏଜେଣ୍ଟ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ ଡୋପାଣ୍ଟ, ଫିଲ୍ମ-ଗଠନ ସାମଗ୍ରୀ ଇତ୍ୟାଦି ଭାବରେ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ। ଏହି ଲେଖାରେ, ଲେଖକ ଆପଣଙ୍କୁ ସାଧାରଣ ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ୍ ବିଷୟରେ ବୁଝିବାକୁ ନେଇଯିବେ।

ନିମ୍ନଲିଖିତଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତଃ ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ୍ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ

ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF3): ଜମା ସଫା କରିବା ଏବଂ ଅପସାରଣ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ଗ୍ୟାସ୍, ସାଧାରଣତଃ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ଏବଂ ଉପକରଣ ପୃଷ୍ଠ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।

ସଲଫର୍ ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (SF6): ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଏବଂ ଇନସୁଲେଟିଂ ମିଡିଆ ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଇନସୁଲେଟିଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ଫ୍ଲୋରିନେଟିଂ ଏଜେଣ୍ଟ।

ହାଇଡ୍ରୋଜେନ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (HF): ସିଲିକନ୍ ପୃଷ୍ଠରୁ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ବାହାର କରିବା ପାଇଁ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଏଚିଂ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଏଚେଣ୍ଟ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।

ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF): ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (SiN) ଏବଂ ଆଲୁମିନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (AlN) ଭଳି ସାମଗ୍ରୀକୁ ଖୋଳିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।

ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରୋମିଥେନ (CHF3) ଏବଂଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରୋମିଥେନ (CF4): ସିଲିକନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଏବଂ ଆଲୁମିନିୟମ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଭଳି ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଖୋଳିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।

ତଥାପି, ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକର କିଛି ବିପଦ ଅଛି, ଯେପରିକି ବିଷାକ୍ତତା, କ୍ଷୟଶୀଳତା ଏବଂ ଜ୍ୱଳନଶୀଳତା।

ବିଷାକ୍ତତା

କିଛି ଫ୍ଲୋରିନ୍ ଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ୍ ବିଷାକ୍ତ, ଯେପରିକି ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (HF), ଯାହାର ବାଷ୍ପ ଚର୍ମ ଏବଂ ଶ୍ୱାସକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଅତ୍ୟନ୍ତ କ୍ରୋଧକ ଏବଂ ମାନବ ସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟ ପାଇଁ କ୍ଷତିକାରକ।

କ୍ଷୟକ୍ଷତି

ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଏବଂ କିଛି ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଅତ୍ୟନ୍ତ କ୍ଷୟକାରୀ ଏବଂ ଚର୍ମ, ଆଖି ଏବଂ ଶ୍ୱାସକ୍ରିୟାକୁ ଗମ୍ଭୀର କ୍ଷତି ପହଞ୍ଚାଇପାରେ।

ଜ୍ୱଳନଶୀଳତା

କିଛି ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଦହନଶୀଳ ଏବଂ ବାୟୁରେ ଅମ୍ଳଜାନ କିମ୍ବା ପାଣି ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରି ତୀବ୍ର ଉତ୍ତାପ ଏବଂ ବିଷାକ୍ତ ଗ୍ୟାସ୍ ନିର୍ଗତ କରନ୍ତି, ଯାହା ନିଆଁ କିମ୍ବା ବିସ୍ଫୋରଣର କାରଣ ହୋଇପାରେ।

ଉଚ୍ଚ-ଚାପର ବିପଦ

କିଛି ଫ୍ଲୋରାଇନେଟେଡ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଉଚ୍ଚ ଚାପରେ ବିସ୍ଫୋରକ ହୋଇଥାଏ ଏବଂ ବ୍ୟବହାର ଏବଂ ସଂରକ୍ଷଣ ସମୟରେ ବିଶେଷ ଯତ୍ନ ଆବଶ୍ୟକ କରେ।

ପରିବେଶ ଉପରେ ପ୍ରଭାବ

ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକର ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଜୀବନକାଳ ଏବଂ GWP ମୂଲ୍ୟ ଉଚ୍ଚ ଥାଏ, ଯାହା ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଓଜୋନ ସ୍ତର ଉପରେ ବିନାଶକାରୀ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ ଏବଂ ବିଶ୍ୱ ଉଷ୍ମତା ଏବଂ ପରିବେଶ ପ୍ରଦୂଷଣର କାରଣ ହୋଇପାରେ।

ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଭଳି ଉଦୀୟମାନ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଗ୍ୟାସର ପ୍ରୟୋଗ ଆହୁରି ଗଭୀର ହେବାରେ ଲାଗିଛି, ଯାହା ଫଳରେ ଶିଳ୍ପ ଗ୍ୟାସର ନୂତନ ଚାହିଦା ବୃଦ୍ଧି ପାଇଛି। ଆଗାମୀ କିଛି ବର୍ଷ ମଧ୍ୟରେ ଚୀନର ମୁଖ୍ୟଭୂମିରେ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏବଂ ଡିସପ୍ଲେ ପ୍ୟାନେଲ ଭଳି ପ୍ରମୁଖ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ନୂତନ ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷମତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇବା ସହିତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ରାସାୟନିକ ସାମଗ୍ରୀର ଆମଦାନୀ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନ ପାଇଁ ପ୍ରବଳ ଚାହିଦା ଉପରେ ଆଧାର କରି, ଘରୋଇ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଗ୍ୟାସ ଶିଳ୍ପ ଉଚ୍ଚ ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାର ହାସଲ କରିବ।