ଶୁଷ୍କ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହେଉଛି ପ୍ରମୁଖ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ। ଶୁଷ୍କ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ହେଉଛି ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ସ। ଏହାର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସିଧାସଳଖ ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ଉତ୍ପାଦର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ଏହି ପ୍ରବନ୍ଧଟି ମୁଖ୍ୟତଃ ଶୁଷ୍କ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସାଧାରଣତଃ ବ୍ୟବହୃତ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଗୁଡିକ ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରେ।
ଫ୍ଲୋରାଇନ୍-ଭିତ୍ତିକ ଗ୍ୟାସ୍: ଯେପରିକିକାର୍ବନ ଟେଟ୍ରାଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (CF4), ହେକ୍ସାଫ୍ଲୋରୋଇଥେନ (C2F6), ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରୋମିଥେନ (CHF3) ଏବଂ ପର୍ଫ୍ଲୋରୋପ୍ରୋପେନ (C3F8)। ଏହି ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ସିଲିକନ ଏବଂ ସିଲିକନ ଯୌଗିକଗୁଡ଼ିକୁ ଖୋଳିବା ସମୟରେ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଅସ୍ଥିର ଫ୍ଲୋରାଇଡ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରିବେ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ସମ୍ଭବ ହୋଇପାରିବ।
କ୍ଲୋରିନ୍-ଭିତ୍ତିକ ଗ୍ୟାସ୍: ଯେପରିକି କ୍ଲୋରିନ୍ (Cl2),ବୋରନ୍ ଟ୍ରାଇକ୍ଲୋରାଇଡ୍ (BCl3)ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ଟେଟ୍ରାକ୍ଲୋରାଇଡ୍ (SiCl4)। କ୍ଲୋରିନ୍-ଆଧାରିତ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ଏଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ କ୍ଲୋରାଇଡ୍ ଆୟନ୍ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବେ, ଯାହା ଏଚିଂ ହାର ଏବଂ ଚୟନକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।
ବ୍ରୋମିନ-ଭିତ୍ତିକ ଗ୍ୟାସ: ଯେପରିକି ବ୍ରୋମିନ (Br2) ଏବଂ ବ୍ରୋମିନ ଆୟୋଡାଇଡ (IBr)। ବ୍ରୋମିନ-ଭିତ୍ତିକ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ କିଛି ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଉତ୍ତମ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପ୍ରଦାନ କରିପାରେ, ବିଶେଷକରି ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଭଳି କଠିନ ସାମଗ୍ରୀ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ କରିବା ସମୟରେ।
ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍-ଭିତ୍ତିକ ଏବଂ ଅମ୍ଳଜାନ-ଭିତ୍ତିକ ଗ୍ୟାସ୍: ଯେପରିକି ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଟ୍ରାଇଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ (NF3) ଏବଂ ଅମ୍ଳଜାନ (O2)। ଏହି ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତଃ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଅବସ୍ଥାକୁ ସଜାଡ଼ିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ର ଚୟନ ଏବଂ ଦିଗକୁ ଉନ୍ନତ କରାଯାଇପାରିବ।
ଏହି ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚିଂ ସମୟରେ ଭୌତିକ ସ୍ପଟରିଂ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାର ମିଶ୍ରଣ ମାଧ୍ୟମରେ ସାମଗ୍ରୀ ପୃଷ୍ଠର ସଠିକ ଏଚିଂ ହାସଲ କରନ୍ତି। ଏଚିଂ ଗ୍ୟାସର ପସନ୍ଦ ଏଚିଂ କରାଯିବାକୁ ଥିବା ସାମଗ୍ରୀର ପ୍ରକାର, ଏଚିଂର ଚୟନ ଆବଶ୍ୟକତା ଏବଂ ଇଚ୍ଛିତ ଏଚିଂ ହାର ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଫେବୃଆରୀ-୦୮-୨୦୨୫
